许锋说:
“当然是用,我们先自己用。”
“光刻机升级完成只是第一步。接下来要做的事情还有很多。核心处理器需要这批芯片作为硬件基础,陈工的自动化生产线控制模块也需要这批芯片。孙国栋的激光器整机光学组件可以用这台光刻机来加工精度更高的镜片,赵明远的新材料配方需要芯片级的热管理系统来做高温验证。这些东西,都是汇报之前要先用起来的。”
“人工智能需要算力,算力需要GPU,GPU需要更先进的芯片,这些我们必须先给自己装备。”
古工慢慢摘掉老花镜,在手里转了两圈。
他做了三十多年科研,汇报的重要性他比谁都清楚。
但眼下许锋说的每一个字都踩在更实际的点上。
这台光刻机能做的事情太多了,每一项都是他和其他几个方向的研究人员盼了大半年才盼来的可能性。
古工把老花镜重新戴回去。
“好,先不汇报,但你需要答应我一件事。”
“你说。”
“稳定运行。给我两周时间,我和苏工用这台光刻机连续跑两批芯片,每一片的检测数据都留档。如果两周之内所有数据都稳定在零点一纳米,那就证明升级是成功的,可以投入量产。”
古工停了一下。
“如果出现波动或者精度衰减,我们就需要重新评估。”
“两周,可以。”
许锋转向苏工:
“苏工,第一批芯片下线需要多久?”
苏工调出生产排程表重新算了一遍。
升级后的光刻机生产效率也提升了不少,原定基础版三天才能跑完的批产流程,现在压缩到了一天半。
他说:“首批下线三天后。备料昨天就做好了,光刻胶也按新波长重新配了。”
“三天。”
许锋从托盘里拿起那片测试晶圆,对着灯光看了看。
晶圆表面泛着极紫外光刻特有的深蓝色光泽,颜色比昨天的二十五纳米晶圆更深,光线的折射角度也更锐利。
这张晶圆上的电路线宽只有昨天的两百分之一,把两百条昨天的线宽并排放在一起,才相当于今天一条线的宽度。
“零点一纳米。”许锋重复了一遍这个数字,把它放回托盘里。
古工站在检测屏幕前面,用显微镜反复扫了三片随机抽检的晶圆,全部数据都稳定在零点一纳米。
他把检测报告打印出来,在最后一页签了字,然后把报告递给许锋:
“所有指标都稳定。两周的验证期今天开始,每天抽检一片晶