满了手写的标注和参数修正。
许锋进门的时候，其中一个专家姓古，五十岁上下，戴着一副银框眼镜，正用放大镜在查看图纸上的某个细节。
另一个姓苏，四十出头，手里拿着一支铅笔，正在另一张图纸上做标注。
古工放下放大镜，转过身来：“许大队长，这个光刻机整体方案是完整的，但有几处零件精度要求超过国内目前常规工艺的水平。光学镜组的曲面加工公差在几个微米级别，国内能做这个精度的设备少。”
许锋走到桌边：“哪些零件？”
古工拿起一张图纸，指着其中一处标注：“这几片非球面镜的曲面方程在这里，设计曲面的曲率半径和国内现有设备的标准加工参数之间有偏差，如果用现有设备加工，精度会差出一截，达不到图纸上的设计指标。”
许锋站在桌前看了半分钟那张图纸，孤狼系统在后台自动运行，根据图纸上的曲率参数和许锋已兑换的一体化加工中心的技术参数，初步判断两者之间的兼容性：“一体化加工中心应该有配套的补偿算法，可以根据曲率偏差做实时修正。等加工中心装好了，先做一组标定测试。”
古工没有接话，低头又看了一遍那张图纸，才抬头说：“如果能做到纳米级补偿，那就不成问题了。”
许锋说：
“能做。”
古工放下放大镜，把图纸卷好放回图纸筒：“那我先把这几片镜组的曲面加工方案做出来。等加工中心到位，直接验证。”
苏工在旁边一直没有说话。他铅笔头放在桌上，从桌上的图纸中抽出一张底层的结构布局图，那是一张光刻机整机底座的工程图，用细密的线条标注了各个子系统的位置和连接方式，角落有他手写的几行计算。
他走到另一张桌子前，打开笔记本电脑，调出一个三维模型：
“我这边在检查整机的结构布局。根据图纸里的尺寸参数，底座和曝光系统之间的刚性连接方案需要微调。原方案里有一些用于吸收低频振动的结构设计，但低频段的减振参数是以旧型号地基的刚度推算的。我根据咱们地下数据中心的实际地基刚度做了重新计算，建议把减振支撑的刚度系数调高百分之三十。”
许锋走到他屏幕前看了一会儿三维模型。
模型上的每一个部件都被标注了编号，整台光刻机的内部结构以剖面方式显示，清晰标注了曝光系统、光学镜组、精密运动平台等主要子系统的空间位置和连接关系