）、天卓精密（水木大学朱建平教授带队，突破1.5纳米定位精度双工件台）以及天虹激光（中科院光电所郑勇牵头，突破193纳米准分子光源）。
“为了打磨物镜，集团甚至从德国搞来了一台被禁运的离子束抛光机。因为有GPS自毁锁，还是国家派了信号对抗专家在咱们郑州建了物理屏蔽室给破解的。”吴汉明简单概述了一下当年的惊险过程。
许晨接着说道：“2017年8月，这三大核心部件在上微电子（SMEE）的实验室完成了整机集成和初光测试，实测线宽达到了64.7纳米。经过这一年的量产标定，设备已经达到了商用晶圆厂的标准。”
许晨看着周平，给出了一颗定心丸：“我已经向上微电子的贺建国总工确认过，天宇预购首批两台量产型65纳米干式DUV光刻机，单价1.2亿元。既然现在二期厂房已经建好，这两台设备马上就会直接进场。”
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