工在后面问。
“汇报!这个事必须立刻汇报!”古工的声音带着不容置疑的急切。
“零点一纳米的自主光刻机,这是国字号级别的突破!你继续做复测,把每一片晶圆的检测数据都记录下来,我马上去找陈副院长。”
洁净车间的门在他面前被推开了。
许锋站在门口,一只手撑着门框,另一只手里端着一杯豆浆。
他看了一眼满脸通红的古工,又看了一眼后面正从椅子上站起来的苏工,然后走进了车间。
“古工,不用去了。”
古工急了:
“许大队长,这个光刻机的精度已经达到了零点一纳米!你知道这意味着什么吗?这意味着我们在芯片制造上不仅追上了国际最先进水平,而且反超了整整一代!这个成果必须立刻上报。”
许锋把豆浆放在桌上,语气很平:
“我知道,昨晚我升级的。”
古工后半截话卡在喉咙里,他张了张嘴,又闭上,车间里安静了几秒。
“什么??你……升级的?”
苏工从检测屏幕前面站起来,脸上的表情像是听到了什么不可思议的话。
“你一个人?昨天晚上?”
“对。一台基础版样品,一套改造升级方案,一晚上。升级内容包括光学系统精度跃升、精密运动平台精度提升、曝光光源波段切换、控制系统集成人工智能自适应校正算法。”
许锋挨个报了一遍升级项目,每报一个,古工的眼角就跳一下。
“精度零点一纳米,这个数字我昨晚关机之前就看到了。”
“一个人……把一台二十五纳米的光刻机升级到了零点一纳米?”
古工摘掉老花镜,用衣角擦着镜片,说话的声音都在打颤。
“这怎么可能?你知道光是换一个曝光光源就需要至少两周的调试周期——光路对准、波长标定、曝光均匀性校准,哪个不是需要反复调试的活?”
苏工在旁边补了一句:
“精密运动平台的定位精度提升一个数量级,常规做法需要重新做整个平台的动态标定。许大队长,昨晚你一个人,到底是怎么做到的?”
许锋没有直接回答这个问题,只是看着古工:“古工,你在这个领域干了多少年了?”
“三十多年。”古工说。
“三十多年,你见过精度零点一纳米的光刻机吗?”
“没有。”
“国际上有公开报道吗?”
“没有。”
许锋端起桌上的豆浆喝了一口,然后放下杯子:
“既然没有,那这台机器